| 摘要 |
<p>기판의 고속 반송을 실현함과 동시에 적절한 반송 동작을 확보한다. 단말 작동기(14)의 지지면(14a)에 카본 나노 튜브 재질의 보관 유지부(15)를 설치하고, 기판(W)를 카본 나노 튜브의 끝단에서 지지한다. 이 때, 기판과 카본 나노 튜브 사이에는 분자간 힘이 발생하고, 기판은 지지면에 대해 일정한 흡착력을 가지고 지지를 받는다. 이 흡착력은, 대기중에서도, 진공 중에서도 발생하고, 단위면적 당 카본 나노 튜브의 갯수가 많을수록 큰 힘을 얻을 수 있다. 이상의 구성에 의해, 지지면에서의 반송물 미끄러짐을 효과적으로 억제할 수 있어 기판의 고속 반송을 실현할 수 있다. 또한, 카본 나노 튜브는 내열성이 뛰어나므로, 고온 환경하에서의 사용시 보관 유지부의 열에 의한 변질이나 부착에 의한 반송 불량을 막고, 기판의 적정한 반송 동작을 확보할 수 있다.</p> |
