| 摘要 |
<p>2 개의 레일을 따라 기판을 이동하는 기판 이동부의 수평면 상에서의 회전 방향의 기울기를 검출하여 보정할 수 있도록 구성된 토출 장치 및 토출 방법을 제공한다.본 발명의 토출 장치 (10) 는, 제 1, 제 2 주간섭 장치 (62a, 62b) 와, 제 1, 제 2 주경 장치 (61a, 61b) 를 갖고, 기판 이동부 (20) 의 수평면 상에서의 회전 방향의 기울기를 측정할 수 있도록 구성되어 있다. 기판 이동부 (20) 의 이동 중, 그 측정 결과로부터 2 개의 레일 상의 이동량을 각각 제어하여, 상기 기울기를 이동 개시 전과 동일하게 한다. 토출 장치 (10) 는 제 1, 제 2 부간섭 장치 (62c, 62d) 와, 부경 장치 (61c) 를 갖고, 기판 이동부 (20) 의 x 축 방향의 위치를 측정할 수 있도록 구성되어 있다. 기판 이동부 (20) 의 이동 중, 그 측정 결과로부터 헤드 (32) 의 이동을 제어하여, 헤드 (32) 와 기판 이동부 (20) 의 x 축 방향의 상대 위치 관계를 이동 개시 전과 동일하게 함으로써, 토출구 (35) 로부터 토출되는 토출액을 기판 (50) 상의 각 착탄 위치에 착탄시킬 수 있다.</p> |
