发明名称 PLACING TABLE STRUCTURE AND PROCESSING APPARATUS USING THE SAME
摘要 <p>본 발명은 마이크로파를 이용하면서 소정의 열 처리를 실시하는 처리용기내에 배치되는 탑재대 구조로서, 비금속 재료로 이루어지는 발열체를 갖는 가열 수단이 매립되는 동시에 상기 피처리체를 탑재하는 탑재대와, 상기 탑재대를 상기 처리용기의 바닥부로부터 기립시켜 지지하는 지주를 구비하고, 상기 탑재대의 상면에 상기 마이크로파를 차단하기 위한 실드 부재가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 탑재대 구조이다.</p>
申请公布号 KR101207696(B1) 申请公布日期 2012.12.03
申请号 KR20097019825 申请日期 2008.03.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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