可降低基板变形的孔板结构

摘要

本创作系提供一种可降低基板变形的孔板结构，其包含：一空调机；一给气室，该给气室与空调机之间以循环管路相连接，该给气室可供设置于无尘室的顶棚或其他适当位置，该给气室内设有容置空间，又该给气室下方设有开口；至少一个孔板，该孔板固设于该给气室下方的开口处，该孔板上设有数个气流孔，且该气流孔与孔板之间具有夹角，又该夹角的角度小于90度；藉由该气流孔与孔板之间具有夹角，且该夹角的角度小于90度，也即该气流孔与孔板之间具有一倾斜角度，而可使该孔板其气流孔吹出的气流以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，俾可降低该玻璃基板之弯曲变形，避免用玻璃基板容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低之缺失，进而可使本创作可达到提升产品良率之功效。

主权项

一种可降低基板变形的孔板结构，其包含：一空调机；一给气室，该给气室与空调机之间以循环管路相连接，该给气室可供设置于无尘室的顶棚或其他适当位置，该给气室内设有容置空间，又该给气室下方设有开口；至少一个孔板，该孔板固设于该给气室下方的开口处，该孔板上设有数个气流孔，且该气流孔与孔板之间具有夹角，又该夹角的角度小于90度。如申请专利范围第1项所述之可降低基板变形的孔板结构，其中该气流孔两端分别于该孔板的上表面与下表面形成进气口与出气口。如申请专利范围第2项所述之可降低基板变形的孔板结构，其中各该气流孔由进气口到出气口之间进一步呈放射状朝该孔板的周缘方向倾斜。如申请专利范围第1项至第3项中任一项所述之可降低基板变形的孔板结构，其中尚包含有至少一个滤网，且该滤网固设于该给气室其容置空间内。