| 摘要 |
本发明「晶圆压膜机离形膜保护机构」系包括一供晶圆置放之下腔体；一位于下腔体上方之上腔体，且该上腔体系开设有复数个对应下腔体之气孔；一供离形膜得以延展于上腔体与下腔体间，并可持续替换离形膜区段之离形膜输送装备，该离形膜输送装备系包括一做为卷捆未经使用离形膜之输送滚轮，及一卷收使用过后离形膜之收料滚轮；一与上腔体的气孔导通，并得吹气带动离形膜贴附于晶圆表面达到溢胶黏除之吹气装置；藉此，透过吹气装置由上腔体的的气孔朝下腔体所置放之晶圆进行吹气，介于上腔体及下腔体间之离形膜即受吹气影响贴附于晶圆表面，当吹气停止后离形膜则恢复分离晶圆表面态样并可将晶圆表面之溢胶黏除。 |
