发明名称 |
电晶体元件主动层图案化方法 |
摘要 |
一种电晶体主动层控制结构,用以控制数个电晶体。这种控制结构包括一控制电极与一介电层,其中控制电极位在任两个或两个以上的电晶体之间,以便在这些电晶体之间产生一反向偏压。至于介电层则是位在主动层与控制电极之间。上述控制结构可有效阻断两个或两个以上电晶体之间的串音(crosstalk)。 |
申请公布号 |
TWI387143 |
申请公布日期 |
2013.02.21 |
申请号 |
TW098130912 |
申请日期 |
2009.09.14 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
颜精一;黄彦士;林政伟 |
分类号 |
H01L51/05 |
主分类号 |
H01L51/05 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |