发明名称 电晶体元件主动层图案化方法
摘要 一种电晶体主动层控制结构,用以控制数个电晶体。这种控制结构包括一控制电极与一介电层,其中控制电极位在任两个或两个以上的电晶体之间,以便在这些电晶体之间产生一反向偏压。至于介电层则是位在主动层与控制电极之间。上述控制结构可有效阻断两个或两个以上电晶体之间的串音(crosstalk)。
申请公布号 TWI387143 申请公布日期 2013.02.21
申请号 TW098130912 申请日期 2009.09.14
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 颜精一;黄彦士;林政伟
分类号 H01L51/05 主分类号 H01L51/05
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号