用以增进离子植入系统中之离子源的寿命及性能之方法与设备

摘要

一种离子植入系统和制程，其中离子植入系统的离子源性能与寿命系藉由采用同位素浓化之掺质材料、或采用具有效提供增进效果之补充气体的掺质材料而增进。