发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPS51143047(A) 申请公布日期 1976.12.09
申请号 JP19750066522 申请日期 1975.06.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKASAWA TAKUJI;ITOU KEIICHI;SATOU KATSUYOSHI
分类号 B05C11/08;B05C9/12;H01J9/22;H01J9/227 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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