电浆处理装置

摘要

本发明系关于一种于多样化之处理条件下，皆可产生均匀且再现性良好之电浆的电浆处理装置。该电浆处理装置系具备有：传送微波的导波管；自微波源经过该导波管以放射出该微波的天线；传播该天线放射出的微波，使其穿透至电浆处理容器内部的顶板。其中该电浆处理装置进一步具备有一用以移动该导波管的导螺杆机构，让该导波管能相对该天线而改变其位置。