太阳能电池之制造方法

摘要

一种太阳能电池之制造方法，包含以下步骤：于一透明基板顶面以常压电浆辅助化学气相沉积法沉积一矽氧化物层，且沉积之矽氧化物层顶面是呈凹凸不平之表面；于该矽氧化物层顶面上方溅镀一第一电极层；于电极层顶面成型一光电转换单元；及于该光电转换单元顶面溅镀一第二电极层。;本发明之功效在于利用常压电浆辅助化学气相沉积方法，于所述基板表面上形成一层表面凹凸不平的矽氧化物层，提升太阳能之光电转换效率，且利用常压电浆辅助化学气相沉积方法，使制程中可避免蚀刻制程之危险性，并可降低制程之成本。