具有邻接至共享源极／汲极之控制闸极之源极侧注入储存装置及其方法

摘要

一种储存装置(10)具有一两位元之细胞，其中选择电极(52)最靠近两储存层(38、40)间之通道。个别控制电极(20、22)在个别储存层(38、40)上。相邻细胞系由相邻细胞间共享的一掺杂区(34)加以分离。该掺杂区(34)系藉由一植入而形成，其中使用相邻细胞之控制闸极(22、24)当作一遮罩。此结构提供缩减之面积，同时留存藉由源极侧注入执行程式化的能力。