检测荷电粒子显微影像之微影光罩错位的方法与系统

摘要

在此接露一种用于检测荷电粒子显微影像之微影光罩错位的方法，其包含提供样品的荷电粒子显微影像的步骤；从该影像定义出一检测图案周期的步骤；以该检测图案周期为一单元，均化该影像以缩减该影像为平均的检测图案周期的步骤；估算平均检测图案周期之平均宽度的步骤；以及比较该平均宽度与一初始值，判断连续之微影光罩错位出现的步骤。