热控制型固体浸没透镜装置

摘要

本发明之实施例允许利用一配备固体浸没透镜的显微镜在比目前利用液体冷却剂所能达到的一温度范围的更大的一温度范围内进行均匀晶粒冷却或加热。SIL尖端与物镜主体其余部分绝缘以实现一可控温度。此热控制可藉由对流或焦耳加热来执行。若该尖端需被冷却，则冷的气体可透过围绕该尖端及翼片的通道注入。若该尖端需被加热，则热的气体可被注入该尖端及翼片周围，或者一电气加热器可热固定于该尖端上且一电流通过该电气加热器以递送电能。