可执行低温离子布植的装置

摘要

本发明揭露一离子布植机，其包含一载座总成具有一载座并可以固定与冷却一晶圆，一冷却系统总成具有使用一特殊冷媒的管路并可以冷却载座以使得载座维持在低温。另外，机构上的设计使得载座与一底座之间的实体接触面积达到最小化。在实施例中，机构设计包含以固定件提供载座与底座间的机械支撑，并可以以热绝缘件提供载座与基座间的热绝缘。