微移距光学测量系统

摘要

一种微移距光学测量系统，包含发出预定波长λ之光的发光装置、将发光装置发出的光分成分别沿第一、二光路行进的第一、二分光的分光装置、设置在第一光路上反射第一分光沿第一光路通过分光装置后沿第三光路行进的反射装置、设置在第二光路上且包括分别由n、n-1个光学元件成排设置的第一、二光学单元使第二分光依序交替通过每一光学元件后经分光装置沿第三光路行进并与第一分光形成干涉光的微移距装置，及设置在第三光路上接收干涉光并计数干涉光之干涉次数的计数装置，藉此以λ/4n为度量单位进行高精度的精密量测。