不纯物导入方法、使用其之电子元件及半导体制造装置

摘要

本发明系包含：利用电浆掺杂方法将不纯物导入固态基体之步骤；形成具有降低来自固态基板之光的反射率功能的光反射防止膜之步骤；及透过光照射进行退火之步骤，其中，降低退火时所照射光之反射率，将能量有效导入不纯物所导入之层，提高活性化效率，防止扩散，且降低不纯物所导入之层的薄片电阻(sheet resistance)。