正型光阻组成物及使用它之图案形成方法

摘要

本发明揭示一种正型光阻阻成物，其包括：(A)可因酸之作用增加其在硷显影剂中溶解度且不含矽原子之树脂；(B)在以光化射线或放射线照射时可产生酸之化合物；(C)具有至少一种选自(X)至(Z)之基的含矽原子树脂，(X)硷溶性基，(Y)可因硷显影剂之作用分解而增加树脂(C)在硷显影剂中溶解度之基，(Z)可因酸之作用分解而增加树脂(C)在硷显影剂中溶解度之基；及(D)溶剂。