| 摘要 |
一种正型光阻组成物包括：(A)一种其在硷显影剂中溶解度在酸作用下增加之树脂，(B)一种在以光似射线或辐射照射时可产生酸之化合物，(C)一种具有至少一种选自由下式(1－1)、(1－2)及(1－3)表示之含氟原子重复单元的重复单元之树脂，此树脂对酸安定且不溶于硷显影剂，及(D)一种溶剂：;(1－1);(1－2);(1－3);其中R1表示氢原子或烷基；R2表示氟烷基；R3表示氢原子或单价有机基；R4至R7各独立地表示氢原子、氟原子、烷基、氟烷基、烷氧基、或氟烷氧基，其条件为R4至R7至少之一表示氟原子，及R4与R5或R6与R7可组合形成环；R8表示氢原子、氟原子、或单价有机基；Rf表示氟原子或含氟原子单价有机基；L表示单键或二价连结基；Q表示脂环结构；及k表示0至3之整数。 |
