微机电装置、微机电开关、包含微机电开关之显示系统、及操作及制造微机电开关之方法

摘要

本发明揭示一种藉助跨一第一电极(702)及一可移动电极(714)施加的一电压电致动之MEMS装置。与该第一电极分离的闩电极(730a、730b)可将该装置维持在一受致动状态中。