夹具及用于支持物件的方法

摘要

一种包含一连接至一封闭元件之支撑元件的夹具。该支撑元件的上表面包含一化学蚀刻区与一非蚀刻区。该化学蚀刻区包含多个被沟槽包围的上区。在该支撑元件中形成至少一压缩气沟渠，使得供给至该支撑元件之下表面的压缩气可通过该等沟槽来传播。该非蚀刻区系经制作成形状与一待安置于该支撑元件上之物件的对应。当该物件在该夹具上安置成与该非蚀刻区对齐以及供给压缩气至该夹具时，该非蚀刻区可减少由该非蚀刻区泄露的压缩气，而该封闭元件可减少由该支撑元件之下表面泄露的压缩气。