感光化射线性或感放射线性树脂组成物、使用此组成物的膜及图案形成方法

摘要

本发明提供一种显影缺陷得到改善、且可形成良好的图案形状的感光化射线性或感放射线性树脂组成物、使用该组成物而形成的感光化射线性或感放射线性膜、及使用该组成物的图案形成方法。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物的特征在于包括：(A)藉由光化射线或放射线的照射而产生由下述通式(I)或通式(I')所表示的酸的化合物；以及(B)藉由酸的作用而分解，且于硷性显影液中的溶解度增大的树脂。[通式(I)及通式(I')中的各记号表示本专利申请的范围内所记载的含义]。;[化1];(I) (I')