高密度电浆产生器

摘要

所揭露的是一种可以稳定地蚀刻用以制造高亮度LED晶片的蓝宝石晶圆的表面的ICP型高密度电浆产生器。此电浆产生器包括反应室、引起一电场以产生电浆的天线系统、提供于反应室与天线系统之间的电介质绝缘板以及复数个永久性磁铁。相同极性与不同极性是交替地形成在二相邻的永久性磁铁之间。天线系统包括复数个位在不同于彼此位置的天线零组件，每一天线零组件的天线包括接收射频功率的功率接收零组件、接地输出零组件以及圆形线圈。藉由功率接收零组件与接地输出零组件界定出一开口。当在蓝宝石晶圆上形成一透镜图案时，藉由稳定的电浆均匀地蚀刻蓝宝石晶圆。