基底处理装置

摘要

一种基底处理装置，其包括第一与第二传递腔室、用于与各个第一与第二传递腔室交换一个或多个基底之负荷固定腔室，及一基底传递单位，该基底传递单位在该等第一与第二负荷固定腔室之间，用于传递一个或多个基底至该等第一与第二负荷固定腔室。