电浆制程反应室之电极设计

摘要

一种电极用于电浆制程反应室，电极包括：一区块及复数周边区块。气体分布孔选择性地形成于区块及周边区块。周边区块附着于区块以调整此电极所能提供的总面积。本发明藉由增加或移除周边区块和堆叠的层数以调整电极之总面积、气体喷射的范围以及电极之厚度。