发明名称 感光性有机聚矽氧烷组合物
摘要 本发明之感光性有机聚矽氧烷组合物包含(a)成分以及(b)成分;(a)成分:有机聚矽氧烷100质量份,此处,该有机聚矽氧烷系藉由如下方式获得:将以通式(1):R2Si(OH)2所表示之矽烷醇化合物、以通式(2):R'Si(OR'')3所表示之烷氧基矽烷化合物、及以通式(3):R'''Si(OR'''')3所表示之烷氧基矽烷化合物,与选自由以通式(4):M(OR''''')4所表示之金属烷氧化物、以通式(5):M'(OR'''''')3所表示之金属烷氧化物、及Ba(OH)2所组成群中之至少1种触媒混合,不添加水而进行聚合;此处,以通式(1)所表示之矽烷醇化合物相对于以通式(2)所表示之烷氧基矽烷化合物及以通式(3)所表示之烷氧基矽烷化合物之合计莫耳比为50:30~50:70,且以通式(2)所表示之烷氧基矽烷化合物相对于以通式(3)所表示之烷氧基矽烷化合物之莫耳比为70:30~30:70;以及(b)成分:光聚合起始剂0.1~20质量份。上述通式(1)~(5)中之基系于申请专利范围中定义。
申请公布号 TWI412890 申请公布日期 2013.10.21
申请号 TW098107569 申请日期 2009.03.09
申请人 旭化成电子材料元件股份有限公司 日本 发明人 木村正志;平田龙也
分类号 G03F7/075;G03F7/004;C08G77/26;C08L83/04;C09D183/04;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本