中空柱状靶材及其组件

摘要

本发明系一种中空柱状靶材组件，其系包括一背衬管与一靶材材料，其中该靶材材料为外管，该背衬管为内管，该内管系用以接合于该外管内，在外管与内管分离的状态下，内管之外径大于外管之内径，且该内管之外径和外管之内径之差值需等于靶材材料之降伏应变乘以外管之内径再乘以一系数N，N值介于1至10之间，藉着材料以及参数的调整才能使得作为外管和内管得以紧密接合。