探针装置及基板搬送方法

摘要

本发明关于一种探针装置及基板搬送方法，该探针装置具备有：复数台探针检查室，系配设于直线上；以及具有基板搬送机构之装载室，该基板搬送机构系从较探针检查室要上方所配置之收纳容器取出被检查基板，并将被检查基板下降至探针检查室之搬出入口的高度后，在探针检查室之列的前方平行于该列移动，而将从收纳容器所取出之被检查基板搬送至探针检查室内；并且，使基板搬送机构在探针检查室之列的前方平行于该列移动之水平移动机构上，系设置有用以读取记录在基板搬送机构所支撑之被检查基板的资讯之读取机构。