成膜方法

摘要

藉由沿着成膜容器之壁面所设置的外部加热器，使该成膜容器之该壁面加热到用以形成有机膜之原料单聚物的蒸发温度以上，而与该外部加热器分离，且接近于搭载基板之基板支持容器所配置的内部加热器，使该基板加热到该原料单聚物的热聚合反应温度；并供给该原料单聚物到该成膜容器内，透过该基板上之热聚合而形成该有机膜。