工件传送组合及用于操控工件的方法

摘要

一种用于操控一或多个工件、诸如半导体晶圆之工件传送组合，包含复数共同作用的支臂，其包含一或多个对应于一工件之外径的弓形部份。该弓形部份具有一工件啮合表面，其设计成适于啮合该工件的一外部边缘。该等共同作用的支臂之至少一个包含一挠曲部分组合，其对于该工件的外部边缘上来自该工件啮合表面之压力作出回应，允许该工件啮合表面于一远离该工件的方向中之变形。