石英玻璃坩埚及其制造方法

摘要

本发明提供一种可促进矽单晶提拉时之内表面之结晶化与维持坩埚之强度的石英玻璃坩埚及其制造方法。石英玻璃坩埚10之特征在于：其具有直体部10A，于至少直体部10A之自坩埚内表面起算之0.3mm~3mm的区域中，OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近内表面则越大。该石英玻璃坩埚系藉由将沿着旋转之塑模之内表面堆积之石英粉加热熔融而使之玻璃化所制造，于熔融时或熔融结束后不久导入包含水蒸汽之空气。或者，可于熔融冷却后再次于包含水蒸汽之环境下进行热处理而制造。