电泳沉积装置及电泳沉积方法

摘要

一种电泳沉积方法包括：提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板；将阳极基板与阴极基板相对设置于电泳槽中；调整阳极基板与阴极基板之相对位置，使得阳极基板上各区域与相对应之阴极基板上各区域间具有不相等之距离；以及分别输入阳极电压与阴极电压至阳极基板之阳极电极与阴极基板之阴极电极，以进行电泳沉积。