| 摘要 |
本发明提供一种显示装置的制造方法及显示装置，该显示装置之制造方法系在将第1电极设为金属与氧化物导电体之叠层构造时，可减少起因于氧化物导电体之溅镀标靶的微粒子，而可在金属与氧化物导电体之间获得良好的通电特性。;本发明系在形成依序由金属构成之第1层13A，及由氧化显示导电性之金属构成之第2层13B的叠层构造后，藉由进行表面氧化处理而在第2层13B之厚度方向的至少一部分形成氧化物导电体膜13B1。使用金属标靶将第2层13B成膜，减少微粒子。进行表面氧化处理之际，藉由以绝缘膜14覆盖第2层13B之一部分，而在绝缘膜14下残留未氧化之金属膜13B2。即使在第1层13A之表层已形成氧化膜的情形，第1层13A至氧化物导电体膜13B1亦可经由金属膜13B2而以低接触电阻加以连接。 |
