| 发明名称 |
喷洒装置 |
| 摘要 |
一种喷洒装置，配置于一基板的上方。喷洒装置包括多个液体输送管、多个喷嘴以及一泵浦。喷嘴分别连接液体输送管。泵浦连接液体输送管。泵浦适于将一液体以不同流量分别注入于液体输送管中，且每一液体输送管中的液体透过对应的喷嘴以一雾状的方式喷洒至基板上。 |
| 申请公布号 |
TWM464810 |
申请公布日期 |
2013.11.01 |
| 申请号 |
TW102206830 |
申请日期 |
2013.04.15 |
| 申请人 |
旭德科技股份有限公司 新竹县新竹工业区光复北路8号 |
发明人 |
陈庆盛 |
| 分类号 |
H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹县新竹工业区光复北路8号 |
