探针卡及检查装置

摘要

本发明系提供一种探针的更换、定位及组装容易的探针卡及检查装置。;本发明之探针卡是具备可与被检查体之各电极电性接触的复数个弹簧针的探针卡，其系具备用来支承前述各弹簧针的支承基板，该支承基板具备：将前述各弹簧针的下部定位而予以支承的稳固的支承构件；以及支承前述各弹簧针之中间部且具柔软性的片状支承构件。本发明之检查装置是具备探针卡的检查装置，该探针卡系使用前述探针卡。