包含用于减少聚合物沈积之射频吸收材料的电浆限制环

摘要

本发明系关于电浆限制环，其用以达到该等环之曝露于电浆中之表面之足够高的温度，以大体上减少彼等表面上之聚合物沈积。该等电浆限制环包含有效增强该等环部分之加热之射频损耗材料。可于电浆限制环总成之一部分上提供一低发射率材料以增强加热效应。