| 摘要 |
本发明之课题为：提供显影装置，有助于可使光阻图形变细的技术，且减少模组数(显影装置的数目)。;为解决上述课题，使得可从例如共通喷嘴对载置台上之基板切换供给常温显影液，与用以将光阻图形之表层部改质的高温显影液。可切换常温显影液用之供给路径与高温显影液用之供给路径，而依序喷出两显影液，但也可使常温调温用之供给路径与高温调温用之供给路径合流，并自前者之供给路径供给常温显影液后，调整两供给路径之流量比，以将其混合液供给作高温显影液。又，为使显影液的温度稳定化，高温显影液之供给时间比常温显影液之供给时间长；又，为减少显影液的消耗量，使高温显影液之供给流量比常温显影液之供给流量少。 |
