处理设备及处理方法

摘要

一种处理设备对一待处理物件W施行一热处理。该处理设备包括：一处理容器22，能够容纳一待处理物件W；一感应加热线圈部104，设置于该处理容器22之外；一射频电源110，用以施加射频功率至该感应加热线圈部104；一气体供应部90，用以将一气体导入该处理容器22；一夹持部24，用以在该处理容器22中夹持该待处理物件W；以及一感应加热元件N，其藉由来自感应加热线圈部104之射频波而被感应加热，俾加热该待处理物件W。该感应加热元件N设有一切槽，用以控制该感应加热元件上所产生之涡电流的流动。