| 摘要 |
本发明提供一种具有照射线状光的出射光学系统和获得从被测量物反射的线状反射光的摄像元件并根据所获得的线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状的测量装置，具备：多个成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，设置在被测量物与各成像光学系统之间，将线状反射光分束并导向关于被测量物的测量对象的光学设定彼此不同的各成像光学系统。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段(segment)，各个片段的至少一个或更多的区域用作受光区域，各成像光学系统使被分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。 |
