供薄膜型太阳能电池用之半导体结构组合及其制造方法

摘要

本发明揭露一种供一薄膜型太阳能电池用之半导体结构组合及其制造方法。根据本发明之半导体结构组合包含一基板、一多层结构以及一钝化层。该基板具有一上表面。该多层结构系形成于该基板之该上表面上。该多层结构包含一p－n接面、一p－i－n接面、一n－i－p接面、一双接面或一多重接面。该钝化层系藉由一原子层沈积制程及/或一电浆增强原子层沈积制程(或一电浆辅助原子层沈积制程)形成于该多层结构之一最顶层上。