用于蒸发及传递原子层沈积用之溶液前驱物之方法及装置

摘要

本发明描述一种用于原子层沈积(ALD)之经改良装置及方法。特定而言，提供用于溶液ALD前驱物之蒸发与传送之经改良方法及装置。本发明尤其适用于处理较低挥发性金属、金属氧化物、金属氮化物及其他薄膜前驱物。本发明使用全蒸发室及室温阀门系统在增大溶液前驱物之利用效率之同时产生真正ALD蒸气脉冲。