光罩之检查装置、光罩之检查方法、液晶装置制造用光罩之制造方法以及图案转印方法,申请号TW096146059-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	光罩之检查装置、光罩之检查方法、液晶装置制造用光罩之制造方法以及图案转印方法
摘要
申请公布号	TWI428686	申请公布日期	2014.03.01
申请号	TW096146059	申请日期	2007.12.04
申请人	ＨＯＹＡ股份有限公司日本	发明人	吉田光一郎;平野照雅
分类号	G03F1/00;G01N21/88;H01L21/027	主分类号	G03F1/00
代理机构		代理人	洪澄文台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址	日本

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