发明名称
摘要
申请公布号 JP5465937(B2) 申请公布日期 2014.04.09
申请号 JP20090158148 申请日期 2009.07.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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