发明名称 Method of forming crystalline silicone thin film and Apparatus for the same method
摘要
申请公布号 KR101372424(B1) 申请公布日期 2014.04.18
申请号 KR20100019986 申请日期 2010.03.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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