| 摘要 |
<p>실리콘 단결정 성장 방법에 관한 것으로, 실리콘 융액(silicon melt)을 형성하는 단계와, 실리콘 융액에 실리콘보다 융점이 낮은 도판트(dopant)를 주입하는 단계와, 도펀트가 주입된 실리콘 융액에 대해, 넥(neck), 숄더(shoulder), 및 바디(body)의 순서로 실리콘 단결정을 성장시키는 단계를 포함하고, 실리콘 단결정 성장시, 넥의 길이를 35 - 45cm로 제어하고, 불활성 기체 대비 압력의 비율을 1.5 이하로 제어할 수 있다.</p> |
