An apparatus for supplying a slurry

摘要

실시 예에 따른 슬러리 공급 장치는 상기 연마 장치에 슬러리를 공급하고, 상기 연마 장치에 의해 사용된 슬러리를 회수하는 슬러리 저장부, 상기 슬러리 저장부에 제1 정량의 슬러리를 공급하는 정량 공급부, 및 상기 슬러리 저장부로부터 제2 정량의 슬러리를 공급받아 배출하는 정량 배출부를 포함한다.