发明名称 |
PATIN DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE SOUPLE ET POUVANT ETRE CONDITIONNE |
摘要 |
L'invention prévoit un patin de polissage mécano-chimique pour le polissage d'un substrat choisi parmi au moins un d'un substrat magnétique, d'un substrat optique et d'un substrat semi-conducteur contenant une couche de polissage, la couche de polissage comportant le produit de réaction d'ingrédients de matière première, comprenant : un isocyanate polyfonctionnel ; et un ensemble de durcisseur ; l'ensemble de durcisseur contenant un durcisseur polyol initié par une amine et un durcisseur polyol à poids moléculaire élevé ; la couche de polissage présentant une masse volumique supérieure à 0,6 g/cm3 ; une dureté Shore D de 5 à 40 ; un allongement à la rupture de 100 à 450% ; et un taux de coupe de 25 à 150 µ m/heure ; et la couche de polissage ayant une surface de polissage adaptée au polissage du substrat. L'invention prévoit également des procédés de fabrication et d'utilisation du patin de polissage mécano-chimique. |
申请公布号 |
FR2997331(A1) |
申请公布日期 |
2014.05.02 |
申请号 |
FR20130060736 |
申请日期 |
2013.10.31 |
申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. |
发明人 |
QIAN BAINIAN;JAMES DAVID, B.;MURNANE JAMES;YEH FENGJI;DEGROOT MARTY |
分类号 |
B24B29/02;B24D99/00 |
主分类号 |
B24B29/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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