雷射光斑绝对定位驱动装置、驱动系统及其方法

摘要

一种雷射光斑绝对定位驱动装置，其包括一与一底板刚性结合之马达驱动模组、一由该马达驱动模组驱动而与该底板相对移动之工作平台、一与该工作平台刚性结合并能够撷取底板光斑影像参考底板区中光斑取像区之光斑影像之光斑取像模组、以及一操作在一定位模式下之控制模组，其中该控制模组系控制该光斑取像模组撷取该工作平台所在位置之光斑影像参考底板区之即时光斑影像，并将该即时光斑影像与一参考座标光斑影像资料库之参考座标光斑影像间之比较，取得该即时光斑影像之即时位置座标，再将该即时位置座标与一目标位置座标相比，取得一误差向量，该控制模组依据该误差向量推动该马达驱动模组，使该工作平台到达该目标位置座标。

主权项

一种雷射光斑绝对定位驱动装置，系包括：一马达驱动模组，其与一底板刚性结合，该底板具有一将光斑影像与座标系统结合之光斑影像参考底板区；一工作平台，其与该马达驱动模组结合并由该马达驱动模组驱动而与该底板相对移动；一光斑取像模组，其与该工作平台刚性结合以便随着该工作平台而与该底板相对移动，用以撷取该光斑影像参考底板区中一光斑取像区之一光斑影像；以及一控制模组，其与该马达驱动模组及该光斑取像模组操作结合，并在一定位模式下进行操作，该控制模组系控制该光斑取像模组撷取该工作平台所在位置之光斑影像参考底板区之即时光斑影像，并将该即时光斑影像与一参考座标光斑影像资料库之参考座标光斑影像间之比较，取得该即时光斑影像之即时位置座标，再将该即时位置座标与一目标位置座标相比，取得一误差向量，该控制模组依据该误差向量推动该马达驱动模组，使该工作平台到达该目标位置座标。