| 发明名称 |
光学钝化薄膜及其制造方法以及太阳能电池 |
| 摘要 |
一种光学钝化薄膜，其包括Ti1-xAlxOy：Z，其中Z表示卤素元素，x介于0.05~0.95，y大于0。所述光学钝化薄膜的制造方法包括制备喷涂溶液，其中喷涂溶液包括氧化铝前驱物、氧化钛前驱物、卤素溶液以及溶剂。将基板放置于加热器上以对基板进行加热步骤。进行喷涂程序以将喷涂溶液喷涂于基板上，以形成所述光学钝化薄膜。本发明另提出一种使用所述光学钝化薄膜之太阳能电池。 |
| 申请公布号 |
TWI448431 |
申请公布日期 |
2014.08.11 |
| 申请号 |
TW100142252 |
申请日期 |
2011.11.18 |
| 申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
孙文檠;游胜闵;王泰瑞;孙佳凉;林泽胜 |
| 分类号 |
C01G23/04;H01L31/18;H01L31/0216 |
主分类号 |
C01G23/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种光学钝化薄膜，其包括Ti1-xAlxOy：Z，其中Z表示卤素元素，x介于0.05~0.95，y介于0~4。 |
| 地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
