描绘资料之补正装置及描绘装置

摘要

于描绘资料之补正装置中，补正方法选择部系根据所输入之补正资讯选择并使用复数个资料补正部，且根据定位标记之位置资讯进行描绘资料之补正。描绘装置系藉由其所补正之描绘资料(DD)对基板进行描绘。如此，可藉由根据欲制造之基板选择补正之方法，以适合于后续步骤或用途等之使用形态之方式进行描绘资料之补正。

主权项

一种描绘资料之补正装置，其系根据基板之定位标记之位置资讯而进行描绘于基板上之图像资料之补正者，其具备有：图像资料输入受理部，其受理描绘于基板上之图像资料之输入；定位标记位置输入部，其输入基板之定位标记之位置资讯；复数个资料补正部，其根据所输入之定位标记之位置资讯，藉由各自不同之算法补正描绘资料；及补正方法选择部，其根据欲制造之基板的种类或者欲描绘之图像的内容，选择并使用上述复数个资料补正部，而执行描绘资料之补正。