发明名称
摘要
申请公布号 JPS6221081(U) 申请公布日期 1987.02.07
申请号 JP19850113339U 申请日期 1985.07.23
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
地址